Visual Studio 2017 VB.NET で ILMerge がエラーになる。 エラーコード1

少し前までMergeできていたプロジェクトが
改修後、Mergeできなくなりました。
色々試しましたが、最終的に
Releaseフォルダ内のファイルを一度すべて削除してから、ビルドすると成功しました。